مضخة فراغ الحجاب الحاجز وايلدن| تطبيق مضخة فراغ الحجاب الحاجز
تجعل غرفة الشفط الخالية من الهيدروكربونات مضخة الحجاب الحاجز مناسبة بشكل خاص كمضخة دعم بمضخة توربينية جزيئية. حتى المضخة الغشائية ذات المرحلتين يمكنها تحقيق ضغط نهائي يبلغ حوالي 5 هيكتوباسكال. بالنسبة لمضخة الدعم لمضخة توربينية جزيئية ، هذا يكفي. الفراغ النظيف مناسب بشكل خاص للتحليل وتطبيقات البحث والتطوير. نظرا لعدم وجود صابورة غاز ، لا يمكن لمضخة الحجاب الحاجز ضخ بخار الماء. حتى إذا تم امتصاص كمية صغيرة من بخار الماء من جدار معدات التفريغ العالية ، يمكن أن يرتفع الضغط النهائي لمضخة الحجاب الحاجز بشكل حاد. ومع ذلك ، فإن بعض مضخات الحجاب الحاجز مجهزة بصمام صابورة الغاز ، والذي يعمل وفقا لطريقة حاصلة على براءة اختراع. تحقيقا لهذه الغاية ، يسمح للغاز بدخول ممر التوصيل بين المرحلتين الأولى والثانية من مضخة الحجاب الحاجز ذات المرحلتين ، وهذا متصل بغرفة الشفط في المرحلة الأولى من خلال ثقب صغير.
إذا تراكمت كمية أكبر من الرطوبة وتم استخدام مضخة الحجاب الحاجز بدون صابورة الغاز ، فيجب توصيل فاصل مناسب أو مصيدة باردة في المنبع لمنع تكوين كمية كبيرة من المكثفات في المضخة. لكن الضغط النهائي سيزداد.
تختلف مضخات الحجاب الحاجز في ضغطها النهائي وسرعة الضخ واستقرار امتصاص الغازات المسببة للتآكل. تتراوح سرعة الضخ لهذا النوع من المضخات بين 3 و 160 لتر · دقيقة -1 (0.25 إلى 9.6 م 3 · ساعة -1). يمكن للمضخة ذات المرحلتين تحقيق ضغط نهائي أقل من 4 هيكتوباسكال ، ويمكن للمضخة ذات الأربع مراحل تحقيق ضغط نهائي أقل من 0.5 هيكتوباسكال. تعتمد سرعة الضخ والضغط النهائي القابل للتحقيق على تردد مصدر الطاقة.
مضخة الغاز المقاومة للتآكل مع الحجاب الحاجز المطلي والغلاف المقاوم للتآكل مناسبة لامتصاص الغازات المسببة للتآكل.
طريقة تسمية المضخة هي l · min-1 للإشارة إلى سرعة الضخ والرقم للإشارة إلى عدد مراحل المضخة.
