خصائص الأداء والتطبيقات المتخصصة لمضخات الحجاب الحاجز في أنظمة التفريغ
تجعل غرفة الشفط الخالية من الهيدروكربونات من مضخة الحجاب الحاجز مناسبة بشكل خاص كمضخة دعم مع مضخة توربينية جزيئية. حتى مضخة الحجاب الحاجز ذات المرحلتين يمكنها تحقيق ضغط نهائي يقارب 5 هكتوباسكال. بالنسبة لمضخة الدعم لمضخة التوربو الجزيئي، هذا كاف. الفراغ النظيف مناسب بشكل خاص للتحليل وتطبيقات البحث والتطوير. ونظرا لعدم وجود ثقل غازي، لا يمكن لمضخة الحجاب الحاجز ضخ بخار الماء. حتى إذا تم امتصاص كمية صغيرة من بخار الماء من جدار معدات الفراغ العالي، يمكن أن يرتفع الضغط النهائي لمضخة الحجاب الحاجز بشكل حاد. ومع ذلك، بعض مضخات الحجاب الحاجز مزودة بصمام ثقل غازي، يعمل وفقا لطريقة حاصلة على براءة اختراع. لهذا الغرض، يسمح للغاز بالدخول إلى الممر المتصل بين المرحلتين الأولى والثانية من مضخة الحجاب الحاجز ذات المرحلتين، ويتم توصيله بغرفة الشفط للمرحلة الأولى عبر فتحة صغيرة.
إذا تراكمت كمية أكبر من الرطوبة وتم استخدام مضخة غشاء بدون ثقل غاز، يجب توصيل فاصل مناسب أو مصيدة باردة في أعلى التيار لمنع تكون كمية كبيرة من المكثفات في المضخة. لكن الضغط النهائي سيزداد.
تختلف مضخات الحجاب الحاجز في ضغطها النهائي، وسرعة الضخ، وثبات امتصاص الغازات المسببة للتآكل. سرعة ضخ هذا النوع من المضخات تتراوح بين 3 و160 لتر·دقيقة (0.25 إلى 9.6 متر مكعب في الساعة). يمكن لمضخة ذات مرحلتين تحقيق ضغط نهائي أقل من 4 هكتوباسكال، ومضخة أربع مراحل يمكنها تحقيق ضغط نهائي أقل من 0.5 هكتوباسكال. تعتمد سرعة الضخ والضغط النهائي الممكن تحقيقه على تردد مزود الطاقة.
مضخة الغاز المقاومة للتآكل ذات الحجاب الحاجز المطلي وغلاف مقاوم للتآكل مناسبة لامتصاص الغازات التآكلية.
طريقة تسمية المضخة هي l · min-1 للدلالة على سرعة الضخ والرقم للدلالة على عدد مراحل المضخة.
